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深圳超纯水系统应用现状
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超纯水系统应用现状
超纯水的作用,就半导体、TFT厂房来说,主要是应用于对各种电子产品的清洗, 纯水可以避免水中杂质对电子产品的污染。应用于电子厂房的纯水水质主要是离子含量,但不能忽视对颗粒度、总有机碳(T0C)、总硅、溶解氧(Do) 等要求。
在确认了供水点能够提供合格的纯水水质后,我们如何能够将合格的水质安全的送到用户点(POU),成为了关键所在,合理管线布局,管材选择成为了我们应该重视的。管材的选择,一是牢固性,避免出现各种泄露,二则是管材溶出物及光滑度,确保输送管线不对合格的水质进行二次污染。
就牢固性及光滑度来说,不锈钢管首当其冲,但要提到一点,所有的管材都会将其所含的物质释放出来,以金属管最严重, 再加上腐蚀因素,完全不适合作为纯水管道的管材。即使所谓SUS304L或SUS316L等,都不能用来输送高纯度的纯水。
因为不锈钢材质与纯水之间的过氧化作用会产生锈蚀的针孔腐蚀效应, 除了污染水质外,也会造成管道的泄漏。所以,严格来说水的导电度在1MΩ以下,不锈钢材质的管材是可以被接受的;而水的导电度在1MΩ以上时,建议不要采用不锈钢管材。
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- 深圳超纯水系统应用现状2019-06-19